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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | * nm深紫外线扫描式光刻机配套涂胶显影机/DUV Photo (KrF * nm) Track | 1台 | 用于 * 英寸集成电路生产企业的 * nm深紫外线扫描式光刻机配套涂胶显影机,满足 * nm及 * nm以下产品量产及研发需求。 |
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