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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2140SHJT0001/106 | 铝铜金属溅射设备;厚铝铜金属溅射设备 | 3;2 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/107 | I-line 光刻机;KrF 光刻机 | 2;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/109 | 聚合物涂胶显影机 | 1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/112 | 金属等离子刻蚀机;氮化硅等离子刻蚀机 | 1;4 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/113 | 6寸碳化硅氧化膜刻蚀机;8寸接触孔刻蚀制造工艺生产机台改造 | 1;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/114 | (略) 理设备 | 1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/115 | 含硼磷二氧化硅化学沉积设备;钨金属化学气相沉积;钴金属溅射设备 | 1;1;1 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/116 | 二氧化硅等离子薄膜沉积设备;二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备 | 3;8 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | |
4197-2140SHJT0001/119 | 等离子去胶机 | 2 | 要求设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 |
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