上海招标网

略，于 ## 在公告。略方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:用于12英寸集成电路生产企业的聚焦离子束设备，满足28纳米和14纳米的工艺研发及量产要求
用于12英寸集成电路生产企业的液浸式光刻设略需的纯化水和高纯气体的纯度提升，满足28nm以下的工艺研发及量产需求。
满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于EPI设备气体纯化
满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于承载EPI设备气体纯化器
用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力略28纳米的工艺研发并量产。/
用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力略28纳米的工艺研发并量产。
略业硅片的倒片、分检，适用于12英寸硅片，满足28nm及以下工艺研发和量产的技术需要。

资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
略条件的说明:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号: ##
招标项目名称:略测试系统设备
项目实施地点:中国X市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	聚焦离子束设备	1	用于12英寸集成电路生产企业的聚焦离子束设备，满足28纳米和14纳米的工艺研发及量产要求
2	光刻机纯化器	6	用于12英寸集成电路生产企业的液浸式光刻设略需的纯化水和高纯气体的纯度提升，满足28nm以下的工艺研发及量产需求。
3	气体纯化器	4	满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于EPI设备气体纯化
4	气体纯化器气柜	3	满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于承载EPI设备气体纯化器
5	晶圆级半自动测试仪设备	1	用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力略28纳米的工艺研发并量产。/
6	略测试系统设备	1	用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力略28纳米的工艺研发并量产。
7	硅片倒片机	16	略业硅片的倒片、分检，适用于12英寸硅片，满足28nm及以下工艺研发和量产的技术需要。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《略投标法》规定的独立法人或其他组织；
2）投标人或投标货物的制造商须具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备10台以上的供货和安装调试经验；
3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: ##
招标文件领购结束时间: ##
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：X市X路28略16楼（略有限公司）
招标文件售价:￥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: ## 09:30
投标文件送达地点:X市X路28略16楼（略有限公司）
开标地点:X市X路28略16楼（略有限公司）
6、投标人在投标前需在上完成注册。
7、联系方式
招标人:X华力略
地址:X市X区张江高科技园区高斯路497号
联系人:华晓怡
联系方式:86-21- ##
招标代理机构:略有限公司
地址:X市X路28略16楼（略有限公司）
联系人:张伟 潘永亮
联系方式:86-21- ##
8、汇款方式:
招标代理略(人民币):略
招标代理略(美元):略
账号(人民币): ##
账号(美元): ##