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1.高精度略程电动平移台的主要技术指标如下。

 (1) 略程不小于200mm。

 (2) *最小可控位移不大于1nm。

 (3) *平移台精度±1.5µm。

 (4) * 平移台单向可重复性应优于0.05um。

 (5) 平移台双向可重复性应优于0.1um。

 (6) 平移台负载能力30Kg。

 (7) *平移台直线度3µm。

2.高精度略程电动平移台的主要技术指标如下。

 (1) 略程不小于100mm。

 (2) *最小可控位移不大于1nm。

 (3) *平移台精度±0.75µm。

 (4) * 平移台单向可重复性应优于0.05um。

 (5) 平移台双向可重复性应优于0.1um。

 (6) 平移台负载能力10Kg。

 (7) *平移台直线度1.5µm。

3.高精度电动平移台控制器的主要技术指标如下。

（1）*4通道，可控制步进，无刷直流伺服，直流伺服，压电等电机。

（2）*补偿类型：线性误差，回程补偿，残差映射。

（3）*8KHz伺服环路，可调PID控制，略接口。

（4）高速10/100 兆bit/秒的TCP/IP通讯。

（5）最大功率：500W。

（6） *可编程、全数字的PWM放大器。

（7）14位仪表级模数转换器，保证高速数据采集及集成，时间抖动采集小于50ns，存储达到100万条记录。

五、技术服务和交货要求